Tel: 86-21-64306513 | E-mail: sales@aoetech.com
PC3涂层材料
品牌:Futurrex
C3涂层材料 | |
涂层材料 PC3-700 PC3-1500 PC3-6000 |
厚度 0.6µm - 1.6µm 1.1µm - 3.2µm 5.0µm - 12.2µm |
- 应用
- 平坦化涂层
- 作为电介质用于凹蚀制程的平坦化
- 机械保护涂层材料
- 在切割制程中用于关键部件的保护
- 临时的粘结层
- 作为临时的粘结材料用于后道的研磨及背面处理,且容易去除
- 平坦化涂层
- 特性
- 极好的平坦化性能
- 适用于光刻胶涂布机
- 对生产率的影响
- 在一些方面省去了化学机械抛光
- 抑制凹蚀制程中的微型加载效应
- 消除了切割制程中薄膜的剥离和破裂
- 晶圆研磨和切割后易于在RD3 和RD6显影液中去除
Other products in the same category:
Copyright 2016 尖丰科技(香港)有限公司All Rights Reserved.
Tel: 86-21-64306513 E-mail: sales@aoetech.com